氦离子化气相色谱仪检测高纯气体的工作原理

氦离子化气相色谱仪检测高纯气体的工作原理

日期:2021-10-6
在整体国民经济的基础行业中气体工业有着重要的地位。随着国民经济的快速发展,气体工业特别是高纯和超高纯气体以及电子用气体行业也蓬勃发展。气体中痕量杂质的检测是生产高纯气体和电子工业用气的关键环节,而这些气体中微量杂质的分析一直是色谱分析的制高点,原有的传统热导(TCD)等色谱检测器由于检测限、灵敏度等制约均无法满足高纯气体分析的要求。
高纯气体的分析是一个复杂的过程,不仅需要高灵敏的检测器,还要考虑样品本身的特性及其背景,如吸附、取样及分析过程中是否有空气混入、系统的密闭性、系统的死体积等环节,润扬仪器总结了高纯气体分析过程中的技术难点,并给出了所有难点的解决措施,使氦离子化气相色谱仪成为国内专业的高纯气体分析系统,很好的完成了气体中微量杂质,级别可以达到ppb级的杂质分析。
氦离子化气相色谱仪是一种灵敏度较高的通用型检测器,对几乎所有无机和有机化合物均有较好的响应,特别适合高纯气体的分析,是能等检测至ng/g(ppb)级的检测器。新制定的国家标准中规定,采用氦离子检测器材换原有的热导等检测器。
氦离子化气相色谱仪检测高纯气体的工作原理
高纯氩气分析图谱
氦离子化气相色谱仪的工作原理:
1. 脉冲放电间隔和功率
PDHID中放电屯根距离为1.6mm,改变充电时间可改变经过初级线圈的放电功率。充电时间越长、功率越大。一般胁冲间痛为200-300us.充电时间在40-45us,基流和响应值达较佳。因放电时间仅为1us,而脉冲周期达几百微秒,绝大部分时间放电电极是空载。所以放电区不会过热。
2. 偏电压
在放电区相邻的电极上加一恒定的负偏电压。响应值随偏电压的增加而急剧增大,很快即达饱和。在饱和区响应值基本不随偏电压而改变。PDHID在饱和区内工作,噪声较低。基流与偏电压的关系同响应值与偏电压。
3. 通过放电区的氦流速
氦通过放电区有两个目的;a.保持放电区的洁净,以便氦被激发;b.它作为尾吹气加入,以减少被测组分在检测器的滞留时间。只是它和传统的尾吹气加入方向相反。池体积为113ul,对峰宽为5s的色谢峰,要求氦流速为6.8-13.6ml/min,如果峰宽容至1s,流速应提高到34-68m/min,以保持被测组分在检测器的滞留时间短至该峰宽的10%-20%。
氦离子化气相色谱仪适用于高纯气体及电子工业用气体中痕量杂质的检测。如高纯氢、氧、氩、氮、氦、氖、氪、氙、二氧化碳等气体中痕量杂质的检测,以润扬仪器GC-2020Q气相色谱仪为载体,配备高灵敏度的氦离子化(PDHID)检测器,采用中心切割与反吹技术,配置具有吹扫保护气路的进样切换阀和进口氦气纯化器,通过无死体积取样或在线进样方式,一次性完成上述高纯气体中H2、O2(Ar)、N2、CH4、CO、CO2等常见杂质或C1-C4等碳氢化合物的检测,检测限达ppb级,重复性RSD≤1%。
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